7月2日,从天津检验检疫局获悉,天津检验检疫局研制的“纳米尺度测量标准器”获得国家实用新型专利授权。该项目采用国际先进的聚焦离子束刻蚀技术,具有分辨率高、线距均匀、材料稳定、设计独特等特点,可以满足不同形状样品的比对测量需求,有效解决了纳米尺度更准确的测量问题,填补了纳米材料领域标准器国内空白,达到国际先进水平。
据介绍,该纳米标准器分辨率高,具有78纳米的标准周期线距,远小于目前公认的S1000标准器的线距1000纳米(1微米),是真正意义上的纳米级标准器。
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